应用领域

用于高测量精度的机器和系统

自动加工设备

半导体工业测量和生产设备

比较仪、测量显微镜等精密测量设备

直线电机

三坐标测量仪

产品特点

FZC_ 200 读数头 配合200μm栅距钢带尺使用

抗污染能力强,运动速度快,分辨率高

技术参数

精度等级               ±15 μm/m

测量步距               0.5 μm

栅距                   200 μm

最大运动速度           10 m/s

最大量程               3.5 m